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二手蓝宝石长晶炉回收+江都整流柜回收的厂家
发布时间:2024/5/10 12:34:40
发布:shxj365
二手蓝宝石长晶炉江都整流柜的厂家然后从 该炉上端充入氩气。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成,因此在不断充入氩气的同时,所述真空泵同时将一氧化硅,粉 尘杂质与氩气等的混合气体排出,其中,气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙,以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20。由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀,还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上,从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置,缩短了排气管路的长度,利 于提高排气效率。加热器4,加热器4的形状为常见的笼形;
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避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,籽晶在副室内有效行程:2100mm20,坩埚升速范围:0.02~1mm/min21,坩埚快速:≥100mm/min22,坩埚在炉内有效行程:400mm23。封头炉盖高度 15,籽晶转速范围:1~40rpm16,籽晶拉速范围:0.2~8mm/min17,籽晶快速:≥350mm/min18。晶体直径:¢6〞~¢8〞10,熔料量:90Kg11,主炉室尺寸:φ900× mm12。冷炉极限真空度:<3Pa9翻板阀通径:φ280mm13籽晶在炉内有效行程:3500mm19坩埚转速范围:1~30rpm24主机重量:约7500Kg。